產(chǎn)品詳情
Fischione點(diǎn)磨機(jī)(即離子研磨機(jī))主要用于在掃描電子顯微鏡(SEM) 觀察前制備樣品截面，通過離子束轟擊材料表面實(shí)現(xiàn)無應(yīng)力研磨，適用于半導(dǎo)體、陶瓷、硬脆材料等復(fù)雜樣品的處理。其核心功能包括:
精準(zhǔn)研磨與拋光
采用離子束技術(shù)對樣品表面進(jìn)行無應(yīng)力加工，可消除傳統(tǒng)機(jī)械研磨產(chǎn)生的變形和裂紋，尤其適合電子背散射衍射(EBSD) 等高精度分析需求。離子束在真空環(huán)境下工作，污染低，能保持樣品原始結(jié)構(gòu)。
多功能適配
支持樣品360°旋轉(zhuǎn)、搖擺及自動定位,配合磁編碼器實(shí)現(xiàn)絕對精度控制。研磨角度可調(diào)范圍達(dá)+10°，適用于不同材料特性。液氮冷卻系統(tǒng)可降低熱影響，確保處理精度。
自動化與安全性
具備自動終止功能，可通過預(yù)設(shè)時間或溫度控制研磨過程。實(shí)時監(jiān)測系統(tǒng)可觀察研磨狀態(tài)，避免過度加工。惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置9隔絕樣品與水氧接觸，保障樣品完整性。
高效處理
精準(zhǔn)研磨與拋光
采用離子束技術(shù)對樣品表面進(jìn)行無應(yīng)力加工，可消除傳統(tǒng)機(jī)械研磨產(chǎn)生的變形和裂紋，尤其適合電子背散射衍射(EBSD) 等高精度分析需求。離子束在真空環(huán)境下工作，污染低，能保持樣品原始結(jié)構(gòu)。
多功能適配
支持樣品360°旋轉(zhuǎn)、搖擺及自動定位,配合磁編碼器實(shí)現(xiàn)絕對精度控制。研磨角度可調(diào)范圍達(dá)+10°，適用于不同材料特性。液氮冷卻系統(tǒng)可降低熱影響，確保處理精度。
自動化與安全性
具備自動終止功能，可通過預(yù)設(shè)時間或溫度控制研磨過程。實(shí)時監(jiān)測系統(tǒng)可觀察研磨狀態(tài)，避免過度加工。惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置9隔絕樣品與水氧接觸，保障樣品完整性。
高效處理
支持原位觀察與記錄,減少傳統(tǒng)機(jī)械拋光后的二次處理步驟。適用于半導(dǎo)體器件、多層膜結(jié)構(gòu)等精密樣品的橫截面制備。
