類型

量測頭

適用控制器

VR-3000K

觀察量測範(fàn)圍

大視野模式

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 12x

水平(H)

24mm

垂直(V)

18mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 25x

水平(H)

12mm

垂直(V)

9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 38x

水平(H)

8mm

垂直(V)

6mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 50x

水平(H)

垂直(V)

4.5mm

高倍率模式

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 40x

水平(H)

7.6mm

垂直(V)

5.7mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 80x

水平(H)

3.8mm

垂直(V)

2.9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 120x

水平(H)

2.5mm

垂直(V)

1.9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 160x

水平(H)

垂直(V)

1.4mm

鏡頭

1 至 4 倍

可量測高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)^*1

顯示解析度

0.1 μm^*2

重覆精度 (σ)

高度量測

0.5 μm^*3

寬度量測

大視野模式：1 μm、高倍率模式：0.5 μm^*3

量測精度

高度量測

±3 ?μm^*3

寬度量測

大視野模式：±5 μm、高倍率模式：±2 μm^*3

影像連接功能

全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測^*4
自動調(diào)整、自動範(fàn)本分析^*4

載物臺

XY 載物臺移動量

184 × 88 mm(電動)

Z 載物臺移動量

90 mm(電動)

旋轉(zhuǎn)角

±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺）

傾斜角

±30° 以上

動作距離

75 mm

影像擷取元件

1 型400 萬畫素黑白CMOS

投光鏡頭

雙重遠心鏡頭 ×2

受光鏡頭

雙重遠心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

環(huán)形 LED 照明(紅、綠、藍)

量測用光源

白光 LED

影像尺寸

1024×768 畫素、2048×1536 畫素

資料處理部份

KEYENCE 指定專用PC(OS 為 WINOOWs7)^*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

耗電量

150 VA

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+15 至 +30 °C

相對濕度

35 至 80 % RH (無凝結(jié))

重量

28.0 kg