產(chǎn)品詳情
愛德華干式真空泵：零油污染，適配半導(dǎo)體、質(zhì)譜與航天測(cè)試，磁懸浮技術(shù)壽命超10萬小時(shí)
性能特點(diǎn)與核心優(yōu)勢(shì)
1. 零油污染，潔凈真空革命
- 干式無油運(yùn)行：采用非接觸式螺桿與爪式壓縮技術(shù)，完全摒棄潤(rùn)滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體，滿足半導(dǎo)體制造、質(zhì)譜分析等對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景。
- 低顆粒物釋放：精密加工腔體與表面硬化涂層工藝，減少摩擦微粒產(chǎn)生，保障航天器真空測(cè)試中敏感元件的安全性。
2. 磁懸浮技術(shù)驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)效壽命
- 超10萬小時(shí)連續(xù)運(yùn)行：磁懸浮軸承消除機(jī)械磨損，對(duì)比傳統(tǒng)油潤(rùn)滑泵壽命提升3倍以上，顯著降低設(shè)備停機(jī)與維護(hù)成本。
- 低振動(dòng)與低噪音：主動(dòng)磁懸浮控制技術(shù)抑制轉(zhuǎn)子振動(dòng)，噪音低于65dB，適配實(shí)驗(yàn)室、無塵車間等安靜環(huán)境需求。
3. 高效節(jié)能與智能控制
- 變頻節(jié)能技術(shù)：根據(jù)負(fù)載動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，能耗較傳統(tǒng)泵降低40%，支持企業(yè)ESG（環(huán)境、社會(huì)與治理）目標(biāo)達(dá)成。
- IoT智能監(jiān)控：內(nèi)置傳感器實(shí)時(shí)反饋壓力、溫度、振動(dòng)數(shù)據(jù)，支持云端接入與異常預(yù)警，實(shí)現(xiàn)預(yù)防性維護(hù)。
4. 多行業(yè)兼容性
- 適配寬泛壓力范圍（10?? mbar至大氣壓），可集成至半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、質(zhì)譜儀離子源、航天器真空熱試驗(yàn)艙等多樣化系統(tǒng)。
行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體芯片制造
- 用于刻蝕機(jī)、CVD/PVD鍍膜設(shè)備，避免油污染導(dǎo)致的晶圓缺陷，提升28nm以下先進(jìn)制程良率。
2. 質(zhì)譜分析儀器
- 為質(zhì)譜儀離子源與檢測(cè)器提供穩(wěn)定無油真空環(huán)境，確保痕量氣體檢測(cè)的精準(zhǔn)度與重復(fù)性。
3. 航天器真空熱試驗(yàn)
- 在衛(wèi)星、火箭組件真空熱試驗(yàn)中耐受極端溫度循環(huán)（-150℃至+120℃），保障測(cè)試可靠性。
4. 制藥與生物工程
- 支持凍干機(jī)、無菌灌裝線的潔凈真空需求，符合GMP認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)。
愛德華干式真空泵以零污染、超長(zhǎng)壽命與多場(chǎng)景適配性，成為高附加值產(chǎn)業(yè)的真空技術(shù)選擇
- 技術(shù)領(lǐng)先性：磁懸浮技術(shù)突破傳統(tǒng)泵壽命瓶頸，MTBF（平均無故障時(shí)間）達(dá)行業(yè)頂尖水平。
- 全流程潔凈保障：從芯片制造到藥品封裝，徹底消除油污染風(fēng)險(xiǎn)，降低產(chǎn)品報(bào)廢率。
- 全生命周期成本優(yōu)勢(shì)：10萬小時(shí)免維護(hù)設(shè)計(jì)+智能節(jié)能系統(tǒng)，幫助客戶降低30%以上綜合運(yùn)營(yíng)成本。
- 全球化技術(shù)支持：愛德華提供定制化真空方案設(shè)計(jì)與快速備件供應(yīng)，覆蓋歐洲、亞洲、美洲主要工業(yè)區(qū)。
