產(chǎn)品詳情
電子芯片制造用高低溫一體機(jī)是專為半導(dǎo)體行業(yè)芯片制造工藝設(shè)計(jì)的精密溫控設(shè)備。該設(shè)備通過(guò)提供穩(wěn)定的高低溫環(huán)境，滿足光刻、蝕刻、沉積等關(guān)鍵工藝對(duì)溫度的嚴(yán)格要求，對(duì)保障芯片制造良率與可靠性具有重要作用。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
本設(shè)備針對(duì)芯片制造工藝的特殊溫控需求設(shè)計(jì)，采用壓縮機(jī)制冷和電加熱技術(shù)，能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)精確溫度控制。設(shè)備溫度控制范圍通常覆蓋-85℃至+250℃，溫度控制精度可達(dá)±0.1℃，升降溫速率較快，可滿足芯片制造各環(huán)節(jié)對(duì)溫度變化的工藝要求。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
? 精密溫控技術(shù)：采用智能控制算法和高精度傳感器，溫度控制精度達(dá)到±0.1℃，溫度均勻性保持在±0.5℃范圍內(nèi)
? 快速溫度變化：配備高效制冷和加熱系統(tǒng)，升降溫速率可達(dá)3-5℃/分鐘，支持快速溫度轉(zhuǎn)換
? 潔凈兼容設(shè)計(jì)：設(shè)備流路采用不銹鋼材料，避免顆粒物和金屬離子污染，符合半導(dǎo)體制造潔凈度要求
? 可靠運(yùn)行保障：集成多重安全保護(hù)機(jī)制，確保設(shè)備在半導(dǎo)體工廠環(huán)境中的連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行
應(yīng)用場(chǎng)景
? 光刻工藝溫控：為光刻膠涂布、前烘、曝光等工序提供穩(wěn)定溫度環(huán)境
? 芯片測(cè)試驗(yàn)證：用于芯片高溫老煉、溫度循環(huán)測(cè)試等可靠性驗(yàn)證
? 封裝過(guò)程控制：為芯片封裝提供精確溫度控制，支持封裝材料固化成型
? 沉積工藝溫控：在化學(xué)氣相沉積等制程中為反應(yīng)腔室提供溫度支持
專業(yè)價(jià)值
我們專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控需求，提供完整的溫度解決方案：
? 工藝?yán)斫馍疃龋荷钊肓私庑酒圃旄鳝h(huán)節(jié)的溫控要求，能提供適用的設(shè)備配置建議
? 定制化服務(wù)能力：根據(jù)具體的工藝需求和設(shè)備接口要求，提供個(gè)性化的系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
? 全周期技術(shù)支持：從設(shè)備選型、安裝調(diào)試到維護(hù)保養(yǎng)，提供全過(guò)程的技術(shù)服務(wù)支持
