產品詳情
●Surpass系列 干法刻蝕機,特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結構的基片刻蝕,刻蝕尺寸可達φ2500mm,通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng),可達到基片有效刻蝕區(qū)域內均勻性較高的技術指標,滿足大口徑基片刻蝕的需求。
主營產品:光學器件、光電設備、電子設備
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詳細參數(shù) | |||
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品牌 | 超邁光電 | 型號 | CM-015 |
材質 | 不繡鋼 | 功率 | 100W |
物料類型 | 靶材 | 加工定制 | 是 |
是否進口 | 否 | 產地 | 其他 |
●Surpass系列 干法刻蝕機,特別適合于大口徑、高均勻性和有特殊微納結構的基片刻蝕,刻蝕尺寸可達φ2500mm,通過高密度等離子體及離子濃度修正系統(tǒng),可達到基片有效刻蝕區(qū)域內均勻性較高的技術指標,滿足大口徑基片刻蝕的需求。
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