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成都真空設備廠家 半導體制程PVD沉積臺 電阻蒸發(fā) 電子束蒸發(fā) 離子源輔助清洗 可定制

數(shù)量(套) 價格
10 1000000.00元/套
  • 最小起訂： 1套
  • 發(fā)貨地址： 四川 成都市
  • 發(fā)布日期：2023-12-16
  • 訪問量：153
咨詢電話：136-8345-8179
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詳細參數(shù)
品牌超邁光電型號CM-007
加工定制是產(chǎn)地四川

產(chǎn)品詳情


●本裝置使用電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)和離子源輔助清洗、輔助沉積和原位刻蝕進行復合，用于制備特種薄膜，薄膜具有均勻性、附著力、抗損傷、低顆粒物污染等特點，是半導體制程中關(guān)鍵工序的核心裝備，其技術(shù)長期被美國、日本等國技術(shù)巨頭所壟斷，屬于國內(nèi)卡脖子裝備，也是制約國內(nèi)半導體領(lǐng)域自主可控的關(guān)鍵設備，該設備的技術(shù)突破和產(chǎn)業(yè)化對國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有積極意義。

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