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GWB-全自動硅片反面缺陷檢測設(shè)備

數(shù)量(臺) 價格
100 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 浙江 杭州市
  • 發(fā)布日期：2023-09-04
  • 訪問量：403
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第3年

杭州光研科技有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 企業(yè)地址：浙江省杭州市蕭山區(qū)建設(shè)二路858號集成電路設(shè)計產(chǎn)業(yè)園D-302

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詳細參數(shù)
品牌其他型號GWB
加工定制是結(jié)構(gòu)型式臺式

產(chǎn)品詳情

可對應(yīng)300mm硅片的背面的缺陷檢測。

【背面檢測】對硅片外周（Bevel）進行非接觸式高速檢測。 畫像處理根據(jù)預(yù)先設(shè)定的參數(shù)條件自動提取各種缺陷，并判定是否合格。當(dāng)線性光照射硅片時，正反射光與入射角相同的角度反射。如果硅片表面凹凸不平，光就會散射并出現(xiàn)多個角度的反射光。通過接收向上的散射光來檢測硅片上的凹凸缺陷。


【缺陷種類】：劃痕，顆粒，GM， E to E ，Pin mark，Hola，Susceptor Scrach
【生產(chǎn)能力】：根據(jù)缺陷種類不同每片檢測最快只需 30S。
【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進行參數(shù)保存與導(dǎo)出。
【檢測對象】：8~12寸 拋光片
【檢測范圍】：背面缺陷

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