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GWS-全自動硅片外延缺陷檢測設備

數量(臺) 價格
100 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 浙江 杭州市
  • 發(fā)布日期：2023-08-30
  • 訪問量：142
咨詢電話：167-7571-7571
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第3年

杭州光研科技有限公司

實名認證 企業(yè)認證
  • 企業(yè)地址：浙江省杭州市蕭山區(qū)建設二路858號集成電路設計產業(yè)園D-302

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詳細參數
品牌無型號GWS
電源其他加工定制是
外形尺寸其他

產品詳情

應用于300mm硅片外延層的滑移線，背面光暈和劃痕等缺陷檢測。

【外延缺陷檢測】

1.表面檢測：檢測對象缺陷為結晶缺陷；檢測區(qū)域為晶圓全面晶圓外周～50mm范圍內任意5mm；產能為55秒/枚[25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計]*不含FOUP Cassette 的開關時間。
2.背面檢測：檢測對象缺陷為光斑、劃痕、Edge亮點；檢測區(qū)域為晶圓全面不含外周3ｍｍ；產能為55秒/枚[25枚(1Cassette)測量時、從第1枚晶圓裝載開始第25枚晶圓回收完畢為止總計]*不含FOUP Cassette 的開關時間。


【生產能力】：根據缺陷種類不同每片檢測最快只需40S。
【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進行參數保存與導出。
【檢測范圍】：邊緣以外區(qū)域。

【檢測對象】：8~12寸 拋光片&外延片

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