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半導(dǎo)體芯片摻雜高低溫一體機(jī)

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
100 28888.00元/臺(tái)
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 四川 成都市
  • 發(fā)布日期：2025-08-13
  • 訪問(wèn)量：20
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第1年

邁浦特機(jī)械（四川）有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 企業(yè)地址：中國(guó)(四川）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)成都高新區(qū)天府大道北段1700號(hào)N3區(qū)21樓2125邁浦特機(jī)械
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詳細(xì)參數(shù)
品牌邁浦特型號(hào)MPTD
類型溫控材料其他
加工定制是

產(chǎn)品詳情

半導(dǎo)體芯片摻雜高低溫一體機(jī)

郵：zhaoyuanyuan@maipt.ltd
支持非標(biāo)定制，提供技術(shù)規(guī)格書、方案。
聯(lián)系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②

用途特點(diǎn)

專為半導(dǎo)體芯片摻雜工藝設(shè)計(jì)，精準(zhǔn)模擬摻雜過(guò)程中所需的極端溫度環(huán)境，覆蓋 - 110℃~400℃寬溫域，可滿足離子注入、擴(kuò)散摻雜等工藝對(duì)溫度的嚴(yán)苛要求，為芯片摻雜均勻性、雜質(zhì)激活效率等關(guān)鍵指標(biāo)的優(yōu)化提供穩(wěn)定溫場(chǎng)，適配半導(dǎo)體晶圓制造、芯片研發(fā)及中試生產(chǎn)線等場(chǎng)景。

核心優(yōu)勢(shì)

超寬溫域精準(zhǔn)控溫

采用邁浦特定制 PLC 控制系統(tǒng)，9 組獨(dú)立 PID 溫區(qū)段控溫，控溫精度達(dá) ±0.1℃，可精準(zhǔn)復(fù)現(xiàn)芯片摻雜時(shí)的低溫預(yù)處理（如 - 110℃抑制雜質(zhì)擴(kuò)散）、高溫激活（如 400℃促進(jìn)雜質(zhì)電離）等極端工況，確保摻雜濃度與深度的一致性。

高效穩(wěn)定運(yùn)行

制冷系統(tǒng)采用單壓縮機(jī)制冷配合輔助深冷技術(shù)，加熱系統(tǒng)搭載不銹鋼 316L 材質(zhì)加熱管，升降溫速率支持斜率 / 快速調(diào)節(jié)，滿足摻雜工藝中快速升溫激活、緩慢降溫退火等不同需求；全密閉硅油循環(huán)系統(tǒng)搭配耐溫 - 110℃~350℃的磁力油泵，保障導(dǎo)熱介質(zhì)穩(wěn)定傳輸，避免雜質(zhì)污染芯片。

安全智能防護(hù)

具備超溫?cái)嚯姟㈦娫茨嫦?、缺油?bào)警等多重保護(hù)，針對(duì)高溫?fù)诫s場(chǎng)景增設(shè)壓力異常自動(dòng)泄壓功能；7 寸觸摸顯示屏實(shí)時(shí)顯示溫度曲線與運(yùn)行參數(shù)，支持 100 組程序編輯（每組 100 步），可預(yù)設(shè)摻雜工藝的溫度變化階梯，數(shù)據(jù)通過(guò) USB 導(dǎo)出，適配半導(dǎo)體生產(chǎn)的可追溯性要求。

典型應(yīng)用

離子注入后高溫激活：在 200℃~400℃區(qū)間精準(zhǔn)控溫，促進(jìn)注入雜質(zhì)的電激活，提升芯片電學(xué)性能；
低溫?fù)诫s預(yù)處理：在 - 50℃~-110℃環(huán)境下抑制雜質(zhì)擴(kuò)散，提高摻雜圖形的分辨率；
擴(kuò)散摻雜溫度循環(huán)：模擬從室溫→高溫（300℃~400℃）→低溫（-80℃）的循環(huán)過(guò)程，優(yōu)化雜質(zhì)分布均勻性；
芯片摻雜層退火：通過(guò)精準(zhǔn)控溫消除摻雜過(guò)程中的晶格損傷，提升芯片穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)（以典型機(jī)型為例）

名稱 參數(shù)
溫度控制范圍 -110℃~400℃（可定制）
控溫精度 ±0.1℃
電源 3N-380V-50Hz（可定制）
加熱功率 2.5~60kW（可選）
制冷方式 壓縮機(jī)制冷 + 輔助深冷
循環(huán)介質(zhì) 硅油
通訊方式 Modbus RS485（支持profibus等定制）

可選配置

多點(diǎn)溫度監(jiān)測(cè)：擴(kuò)展 PT100 傳感器，同步監(jiān)測(cè)試樣與溫場(chǎng)溫度差異；
遠(yuǎn)程控制模塊：支持 PROFINET、PROFIBUS 協(xié)議，集成至半導(dǎo)體生產(chǎn)線 DCS 系統(tǒng)；
潔凈級(jí)管路：采用不銹鋼無(wú)縫焊接管路，適配半導(dǎo)體潔凈車間環(huán)境要求。

溫馨提示

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