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半導體芯片摻雜高低溫一體機

數(shù)量(臺) 價格
100 28888.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
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第1年

邁浦特機械（四川）有限公司

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詳細參數(shù)
品牌邁浦特型號MPTD
類型溫控材料其他
加工定制是

產(chǎn)品詳情

半導體芯片摻雜高低溫一體機

郵：zhaoyuanyuan@maipt.ltd
支持非標定制，提供技術規(guī)格書、方案。
聯(lián)系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②

用途特點

專為半導體芯片摻雜工藝設計，精準模擬摻雜過程中所需的極端溫度環(huán)境，覆蓋 - 110℃~400℃寬溫域，可滿足離子注入、擴散摻雜等工藝對溫度的嚴苛要求，為芯片摻雜均勻性、雜質激活效率等關鍵指標的優(yōu)化提供穩(wěn)定溫場，適配半導體晶圓制造、芯片研發(fā)及中試生產(chǎn)線等場景。

核心優(yōu)勢

超寬溫域精準控溫

采用邁浦特定制 PLC 控制系統(tǒng)，9 組獨立 PID 溫區(qū)段控溫，控溫精度達 ±0.1℃，可精準復現(xiàn)芯片摻雜時的低溫預處理（如 - 110℃抑制雜質擴散）、高溫激活（如 400℃促進雜質電離）等極端工況，確保摻雜濃度與深度的一致性。

高效穩(wěn)定運行

制冷系統(tǒng)采用單壓縮機制冷配合輔助深冷技術，加熱系統(tǒng)搭載不銹鋼 316L 材質加熱管，升降溫速率支持斜率 / 快速調節(jié)，滿足摻雜工藝中快速升溫激活、緩慢降溫退火等不同需求；全密閉硅油循環(huán)系統(tǒng)搭配耐溫 - 110℃~350℃的磁力油泵，保障導熱介質穩(wěn)定傳輸，避免雜質污染芯片。

安全智能防護

具備超溫斷電、電源逆相、缺油報警等多重保護，針對高溫摻雜場景增設壓力異常自動泄壓功能；7 寸觸摸顯示屏實時顯示溫度曲線與運行參數(shù)，支持 100 組程序編輯（每組 100 步），可預設摻雜工藝的溫度變化階梯，數(shù)據(jù)通過 USB 導出，適配半導體生產(chǎn)的可追溯性要求。

典型應用

離子注入后高溫激活：在 200℃~400℃區(qū)間精準控溫，促進注入雜質的電激活，提升芯片電學性能；
低溫摻雜預處理：在 - 50℃~-110℃環(huán)境下抑制雜質擴散，提高摻雜圖形的分辨率；
擴散摻雜溫度循環(huán)：模擬從室溫→高溫（300℃~400℃）→低溫（-80℃）的循環(huán)過程，優(yōu)化雜質分布均勻性；
芯片摻雜層退火：通過精準控溫消除摻雜過程中的晶格損傷，提升芯片穩(wěn)定性。

技術參數(shù)（以典型機型為例）

名稱 參數(shù)
溫度控制范圍 -110℃~400℃（可定制）
控溫精度 ±0.1℃
電源 3N-380V-50Hz（可定制）
加熱功率 2.5~60kW（可選）
制冷方式 壓縮機制冷 + 輔助深冷
循環(huán)介質 硅油
通訊方式 Modbus RS485（支持profibus等定制）

可選配置

多點溫度監(jiān)測：擴展 PT100 傳感器，同步監(jiān)測試樣與溫場溫度差異；
遠程控制模塊：支持 PROFINET、PROFIBUS 協(xié)議，集成至半導體生產(chǎn)線 DCS 系統(tǒng)；
潔凈級管路：采用不銹鋼無縫焊接管路，適配半導體潔凈車間環(huán)境要求。

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