產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點
l ? 閉式氣浮結(jié)構 ? 直驅(qū)零齒槽效應
l ? 定位精度±0.5arc sec ? 同步軸向跳動誤差10nm
? 精準回零誤差 ? 高速度穩(wěn)定性
? 解決氣浮軸抱死問題 ? 立式或臥式使用
應用領域
NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺具有高定位、速度穩(wěn)定性和同步納米級跳動誤差，可立式或臥式使用，出色的跳動誤差滿足晶圓加工及檢測、超精密加工、輪廓測量、高精度計量、光學檢測和MEMS/納米技術設備等高端行業(yè)。
結(jié)構特點
由無齒槽直驅(qū)力矩電機、閉式氣浮軸承和精密反饋裝置組成，徑向雙氣路結(jié)構設計，使徑向有出色的載荷力，安裝結(jié)構上可選擇立式或臥式使用，且能組合AB氣浮軸，達到高正交性及高相交度。無齒槽設計固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動，無氣浮抱死問題。
精度性能
NOTE系列氣浮轉(zhuǎn)臺的定位精度±0.5arc sec, 重復定位精度≤0.5arc sec, 同步軸向跳動誤差10nm，同步徑向跳動誤差50nm, 擺角誤差3μrad, 電動控制和手動轉(zhuǎn)動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋
圓光柵閉環(huán)反饋，運用高性能控制系統(tǒng)，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，結(jié)構設計上，氣浮轉(zhuǎn)臺能精準回到零點位置。
定制化
氣浮AB軸滿足曲面加工、測試的應用。可定制安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導航等應用。
規(guī)格指標
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型號 |
單位 |
NOTE-50 |
NOTE-100 |
NOTE-200 |
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行程 |
° |
360 |
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臺面直徑 |
mm |
80 |
114 |
148 |
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通孔直徑 |
mm |
10 |
20 |
40 |
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補償后定位精度 |
Plus (1) |
arc sec |
±0.5 |
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標準值 |
±1 |
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雙向重復定位精度 |
Plus (1) |
arc sec |
≤0.5 |
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標準值 |
≤1 |
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軸向跳動誤差 (2) |
Plus (1) |
nm |
10 |
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|
標準值 |
250 |
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徑向跳動誤差 (2) |
Plus (1) |
nm |
50 |
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|
標準值 |
300 |
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擺角誤差 |
Plus (1) |
μrad |
3 |
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標準值 |
6 |
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電子分辨率 (3) |
arc sec |
＜0.01 |
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最大速度 (空載) (4) |
rpm |
300,（≥1000 定制） |
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最大負載 |
軸向 |
kg |
5 |
20 |
45 |
|
|
徑向 |
3 |
12 |
27 |
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供氣壓力 (5) |
MPa |
0.5±0.05 |
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空氣消耗量 |
SL/min |
13 |
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自重 |
kg |
0.5 |
4.5 |
13 |
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材料 |
/ |
航空7075鋁合金（表面氧化處理） |
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注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內(nèi)測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在轉(zhuǎn)動臺面上25mm處，測試速度10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測量，精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環(huán)境的變化會導致精度變化，如需非標準測試，請咨詢我們。
1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。
2. 軸向和徑向跳動為同步跳動誤差，測微儀和標準球測量，計算為最大值-最小值-標準球誤差-同心度。
3. 電子分辨率取決編碼器線數(shù)及控制器的細分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標，最大轉(zhuǎn)速取決于負載大小。
5. 為保護氣浮軸承建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
訂購信息
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型號 |
NOTE |
-100 |
-PLUS |
-1 |
-3 |
-Y |
|
描述 |
氣浮轉(zhuǎn)臺 |
轉(zhuǎn)動臺面直徑114mm |
PLUS高精度版 |
增量式光柵1Vpp反饋 |
線纜長度3米 |
有壓力保護開關 |
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名稱 |
型號 |
描述 |
|
氣浮轉(zhuǎn)臺 |
NOTE |
氣浮轉(zhuǎn)臺 |
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臺面 |
-50 -100 -200 |
轉(zhuǎn)動臺面φ80mm 轉(zhuǎn)動臺面φ114mm 轉(zhuǎn)動臺面φ148 mm |
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精度等級 |
-N -PLUS |
標準值 PLUS高精度版 |
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反饋方式 |
-1 -T -ABS |
增量式光柵1Vpp反饋 增量式光柵TTL反饋 絕對式光柵反饋 |
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線纜長度 |
-3 -5 -DZ |
長度3米（標配） 長度5米 定制 |
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壓力保護開關 |
-Y -N |
有壓力保護開關（標配） 無壓力保護開關 |
